膜厚测量仪FILMTHICK-C50-mapping 晶圆测绘系列
产品说明
景颐光电膜厚测量仪FILMTHICK-C50-mapping利用光干涉原理，机械结构集成的进口卤钨灯光源，使用寿命超过10000小时。FILMTHICK对样品进行非接触式、无损、高精度测量，可测量反射率、颜色、膜厚等参数。可应用于半导体薄膜、液晶显示、光学镀膜、生物医学等薄膜层的厚度测量。OPTICAFILMTEST 光学膜厚测量软件采用FFT傅里叶法、极值法、拟合法多种高精度算法，包含了类型丰富的材料折射率数据库，开放式材料数据库，有效地协助用户进行测试分析，测量期间能实时显示干涉、FFT 波谱和膜厚等趋势。
产品特点
采用高强度氘钨灯光源，光谱覆盖深紫外到近红外范围
基于薄膜层上界面与下界面的反射光相干涉原理，轻松解析膜层厚度
配置强大核心分析算法：FFT分析厚膜、曲线拟合分析法分析薄膜的物理参数信息
应用领域
高精密膜厚测量案例
半导体：硅半导体、碳化硅半导体、砷化镓半导体、光刻胶、氧化物/氮化物工艺薄膜、介电材料、硅或其他半导体膜层
液晶显示：OLED、玻璃厚度、聚酰亚胺、ITO与其他TCO
光学镀层：HC硬涂层、AR抗反射层、AG防眩光涂层、滤光片眼镜
生物医学：Parylene派瑞林、聚合物、生物膜、医疗设备
薄膜：AR膜、HC膜、PET膜
行业案例
合作客户
- 光斑大小 标准1.5mm（可选配至10um）
- 样品台尺寸 标准300mm（可选配）
- 测试时间 优于0.1秒
- 光源寿命 10000小时
- 质保 一年（人为损坏和耗材除外）
产品编号
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